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Equipements pour l’industrie des semi-conducteurs et l’opto-mécanique
Mersen Boostec fournit les structures ultra-stables en carbure de silicium indispensables aux équipementiers de l’industrie des semi-conducteurs et de l’opto-mécanique.
Les solutions Boostec® SiC sont utilisées dans des domaines exigeant une précision extrême
- procédés dans l’industrie des semi-conducteurs ;
- machines de lithographie EUV ;
- instruments de mesure de surfaces optiques innovants ;
- ultravide ;
- équipements scientifiques.
Fabrication et conception : l’expertise de Boostec
- Une expérience inégalée dans la fabrication de structures ultra-stables de 3 mètres
- Possibilité de solution intégrée sur une seule pièce : système de palier à air, canaux de refroidissement internes, miroir intégré
- Des pièces monolithiques en SiC aux assemblages complexes, Mersen Boostec fabrique des bancs, des grandes platines et des poutres ultra-stables ainsi que des structures coulissantes offrant un positionnement rapide et précis, mais aussi des chucks
La solution Boostec® SiC
- De nombreuses options de configuration configurable à la demande
- Résistance mécanique élevée et insensibilité à la fatigue mécanique
- Isotropie parfaite grâce au matériau SiC
- Finition polie pouvant servir de référence optique
- Stabilité dans le temps à toute épreuve
- Étanchéité aux gaz et à l’eau, aucun dégazage, aucune absorption d’humidité
- Résistance à l’usure
- Excellente inertie chimique
Contact France
Mersen Boostec
Service technico-commercial
ZAE Ceram’Innov Pyrénées
65460 BAZET
France
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+33 (0)56 233 4500
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